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TEM制樣-聚焦離子束(FIB)制樣

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樣品要求

常見問題

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TEM制樣-聚焦離子束(FIB)制樣

預約次數(shù) 346次
服務周期 2-4周

樣品要求

1. 樣品要求:透射制樣的樣品,表面最好拋光;最佳尺寸:1cm*1cm*0.1cm;    粉末樣品尺寸至少在3微米以上才能進行FIB制樣;

①.FIB切透射樣品:塊體樣品表面最好拋光;最佳尺寸:1cm*1cm*0.1cm,粉末顆粒的尺寸至少在5微米左右;透射樣品制備只保證切出的樣品厚度可以拍透射;

②.FIB切SEM樣品:如果是顆粒的話顆粒尺寸直徑大于1微米;如果是塊體的話尺寸最好小于1cm*1cm;

③.特別注意:樣品尺寸及制樣要求提前發(fā)技術顧問確認;樣品中有磁性元素也可制樣測試;備注下樣品的導電性,若導電性較差,會對樣品噴金;計時收費一般為FIB+SEM測試;透射制樣一般為按樣品收費;

2. 為了測試老師能夠更好的處理您的樣品,請您下單時備注具體的樣品信息 是否導電 是否有磁性;

3. 特別注意:樣品尺寸及制樣要求提前發(fā)技術顧問確認;樣品中有磁性元素也可制樣測試;備注下樣品的導電性,若導電性較差,會對樣品噴金;計時收費一般為FIB+SEM測試;透射制樣一般為按樣品收費;如需制備SEM樣,請在”聚焦離子束(FIB)制樣--SEM“項目中下單。

4. FIB-TEM采用云視頻方式定位,定位時間需控制在半小時以內(nèi),如測試位置復雜難找或需用mapping輔助定位,時間可能會超過半小時,超出時間需加收機時費用,費用按FIB-SEM標準進行收費

5. 如有疑問,請聯(lián)系前期對接的技術顧問;



常見問題

IB制樣接樣注意事項是什么?

1)首先樣品成分,是否導電;導電性差的話樣品要噴金;

2)其次FIB的目的,截面看SEM還是TEM;TEM是做普通高分辨還是球差,普通的高分辨減薄厚度比球差要厚一些,最薄可以減薄到十個nm左右的厚度;

3)進而切割或取樣位置:最好能提供位置示意圖;

4)詢問材料是否耐高壓,F(xiàn)IB制樣一般常用電壓是30KV;

5)樣品最好表面拋光。


FIB TEM制樣流程圖是什么?

1)找到目標位置,表面噴Pt保護。

2)把目標位置前后兩側挖空,剩下目標區(qū)域。

3)機械納米手將這個薄片取出,開始離子束減薄。

4)減薄到理想厚度后停止。

5)將樣品焊到銅網(wǎng)上的樣品柱上。一個銅網(wǎng)上有4個柱子,最多可以放4個樣品。


注意事項:制備好的樣品,需要裝在自吸附盒里,避免強烈碰撞,強烈碰撞會導致樣品從樣品柱上脫落,一旦脫落,樣品無法找回。


可以接粉體樣么

可以,一般是滴在硅片上風干后制樣